光阻頂部塗層
應用
達興提供適用於浸潤式曝光用的上層保護材料，可防止光阻成分溶入液體(ex: 水)，避免光阻成份組成變化，也可作為折射率調節功用，另有多種奈米微影製程用特用化學品開發中。
產品特性
- 高撥水性
- 鹼可溶性佳
- 與下層光阻無溶解與溶出現象
產品規格
| 項目 | DTC series | 備註 | ||
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| 特點 |
| |||
| 建議製程條件 | 軟烤 | ℃ ; min | 80 ; 1 | |
| 折射率 | - | 1.53-1.60 | @THK=500Å Customized | |
| 消光係數 | - | <0.01 | ||
| 後退角 | degree | 70-75 | ||