頂部抗反射塗層

應用

適用於先進微影製程的 TARC (頂部抗反射塗層)，可有效抑制光阻/基板界面的反射光，避免產生駐波效應與圖形變形，並提升臨界尺寸控制 (CD control) 與線邊粗糙度 (LER) 的穩定性。同時，TARC 也能改善圖形一致性，提升微影製程良率。

 

 

產品特性

 

• 抑制反射光
• 提升圖形解析度與一致性
• 與下層光阻無溶解與溶出現象
• 高溶解速率
• 低金屬離子

產品規格