銅製程 - 銅/鉬蝕刻液
產品特性
- 雙氧水型環保蝕刻液
- 穩定性佳，可提供優異的銅乘載量(>10kppm)
- 蝕刻均勻性好、角度大可用在高精細導線製程。
產品規格
| 測試項目 | 單位 | DE-series | 備註 |
|---|---|---|---|
| 最大銅乘載量 | ppm | > 10k | |
| 蝕刻速率 | Å/min | 4,000~6,000 | 35℃ |
| pH value | 3.7~4.4 | ||
| 雙氧水濃度 | % | 6.0~8.5 | |
| 蝕刻角度 | ° | 30~70 |
| 測試項目 | 單位 | DE-series | 備註 |
|---|---|---|---|
| 最大銅乘載量 | ppm | > 10k | |
| 蝕刻速率 | Å/min | 4,000~6,000 | 35℃ |
| pH value | 3.7~4.4 | ||
| 雙氧水濃度 | % | 6.0~8.5 | |
| 蝕刻角度 | ° | 30~70 |