產品介紹
液晶顯示器材料
液晶顯示器材料
銅/鉬蝕刻液
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應用 |
隨著4K2K電視面板滲透率逐漸攀升，銅線製程已逐步取代鋁線製程，銅/鉬蝕刻液功用在於控制銅/鉬蝕刻的方向性以及調控銅/鉬被蝕刻的速率，藉此蝕刻出平整的銅導線．
達興之銅／鉬蝕刻液更可提供優異的銅蝕刻負載量，即使在高銅離子濃度下亦可維持穩定蝕刻表現．
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產品特色 |
- 雙氧水型環保蝕刻液
- 穩定性佳，可提供優異的銅負載量(>10Kppm)
- 蝕刻均勻性好、角度大可用在高精細導線製程
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產品分類 |
| 測試項目 Test Item |
單位 Unit |
DE-series | 備註 Remarks |
| 最大銅乘載量 Max. Cu Loading |
ppm | > 10k | |
| 蝕刻速率 Etching Rate |
Å/min | 4,000~5,000 | 35℃ |
| pH value | 3.7~3.9 | ||
| 雙氧水濃度 H2O2 Concentration |
% | 6.3~6.7 | |
| 蝕刻角度 Taper |
° | 30~45 |
