產品介紹
液晶顯示器材料
液晶顯示器材料
光阻剝離液
 |
適用於一般製程 |
應用
Array製程為TFT-LCD之最主要技術，光阻剝離液在完成金屬或半導體薄膜線路之蝕刻製程後，作為剝離光阻的功用。
產品特性
- 分為溶劑型及水性剝離液
- 快速的光阻膨潤性及光阻剝離性
- 對於金屬基材無腐蝕性
- 易回收減少廢液量及降低成本
產品分類
| 產品名稱 | GD-100 | GD-200 | |
| 溶劑系統 | BDG | DMSO | |
| 沸點 | ℃ | 120~145 | 175~200 |
| 製程溫度 | ℃ | 50~85 | 50~85 |
|
適用於銅/鉬製程 |
應用
此款光阻剝離液特別針對銅/鉬導線之蝕刻製程後之光阻去除，藉由剝離液使附著於銅導線上的光阻膨潤而溶解，但又不對銅導線造成傷害．
產品特性
- 不傷害銅、鉬、鋁、ITO 或IGZO
- 良好的水溶性，有助於殘留液的去除
- 產品可回收使用，並不具生殖毒性
產品分類
| 測試項目 Test Item |
單位 Unit |
GD-series | 備註 Remarks |
| 外觀 Appearance |
Colorless to light yellow | ||
| 密度 Density |
g/cm3 | 1.062~1.082 | |
| pH value | 11 | 30% aq. | |
| 水溶性 Solubility |
Soluble in water | ||
| 適用溫度 Operating Temp. |
℃ | 40~50 |
